2022-02-14 00:00

遭ASML質疑侵權 東方晶源否認

外電報道，荷蘭光刻機巨頭艾斯摩爾（ASML）日前發出警告稱，中國企業東方晶源可能侵權，對此，東方晶源微電子科技（北京）回應表示，近期網絡相關的報道「與事實不符」，並指出公司尊重、保護知識產權，並形成獨立、完備的知識產權體系。 強調守法合規經營 東方晶源在網站刊登聲明，指公司已成功自主研發出計算光刻軟體（OPC）、納米級電子束檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）3款核心產品。 公司強調，自成立以來一直遵守中國法律法規、合法合規經營，未來將繼續與產業鏈上下游夥伴合作，「專注中國半導體核心技術的研發與突破」。 ASML日前在年報中稱，東方晶源在中國積極銷售可能侵犯其知識產權的產品，並 ...

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